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硅基光子晶體腔陣列的微組裝轉(zhuǎn)印技術(shù)

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發(fā)布時間: 2024-9-25 08:00

正文摘要:

引言& v# h4 }6 x  ]* Z8 A% l0 U  \ 光子晶體腔（PhCCs）能夠?qū)⒐鈭鱿拗圃诔◇w積內(nèi)，實現(xiàn)量子和非線性光學(xué)、傳感和全光信號處理的高效光物質(zhì)相互作用。然而，微加工平臺固有的納米級公差會 ...

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