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引言# D" n" C! a# ~! ]8 K( h; s9 ~ 絕緣體上鈮酸鋰(LNOI)波導因其優(yōu)異的光學性能,在集成光電子技術(shù)中有廣泛應用。然而,由于鈮酸鋰(LN)的硬度高、化學惰性強,且在刻蝕過程中易產(chǎn)生材料再沉積,制作低損耗LNOI波 ...
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