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基于氮化鎵的濕度傳感器的制造、機(jī)理與應(yīng)用

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發(fā)布時(shí)間: 2024-12-3 08:01

正文摘要:

引言 # B. F5 d% Z: S氮化鎵(GaN)因具有高電子遷移率、寬能帶隙、生物相容性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)異特性，成為濕度傳感應(yīng)用的理想材料。GaN的纖鋅礦晶體結(jié)構(gòu)中，最外層的鎵原子呈現(xiàn)正電性，具有優(yōu)異的配體結(jié)合能力，特 ...

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