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引言) e/ c7 t# C. U5 Z" w
半導(dǎo)體行業(yè)長期依賴技術(shù)路線圖來指導(dǎo)其發(fā)展并促進合作。這一傳統(tǒng)始于1993年的美國國家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(NTRS),后來演變?yōu)閲H半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)。如今,隨著進入半導(dǎo)體技術(shù)的新時代,異構(gòu)集成路線圖(HIR)成為焦點,應(yīng)對將多樣化組件集成到統(tǒng)一系統(tǒng)中的挑戰(zhàn)和機遇[1]。
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技術(shù)路線圖的演變
& ]" @+ y: L' U H# @" v" t半導(dǎo)體技術(shù)路線圖的旅程始于戈登·摩爾博士在德克薩斯州歐文組織的一次富有遠見的研討會。這次活動匯集了179位技術(shù)專家,共同創(chuàng)造了行業(yè)未來的愿景。1993年發(fā)布的NTRS成為第一個開源半導(dǎo)體技術(shù)路線圖。5 d6 x" k# J$ A4 g+ T* }0 D
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圖1:展示AMD的3.5D 封裝。7 l9 h7 T2 c5 o: U3 c7 w3 w. L
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隨著行業(yè)全球化,NTRS擴展為包括國際合作的ITRS,始于1998年。這項全球努力持續(xù)到2016年,ITRS的最后一版發(fā)布。認識到持續(xù)合作的重要性,ITRS的異構(gòu)集成團隊決定繼續(xù)推進路線圖工作,聚焦于摩爾定律進展的下一個時代和電子技術(shù)復(fù)興。. r; S+ C. m) O5 q) ?! z4 U {9 W
7 {4 E; f- |5 e理解異構(gòu)集成
4 r O# N* C- m* n' q+ E! K異構(gòu)集成指將不同組件組裝成更高級系統(tǒng)。這種方法包括多個方面:材料:集成具有不同特性的材料。組件類型:結(jié)合集成電路、光電子技術(shù)、微機電系統(tǒng)和傳感器。線路類型:整合DRAM、Serdes、邏輯、射頻和電源線路。硅節(jié)點:集成來自不同工藝技術(shù)的組件。鍵合和互連方法:利用各種技術(shù)連接組件。8 A# N# t2 O) m: ~
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6 w8 d0 ~" j3 s+ D$ n4 x7 a. `4 |圖2:展示了復(fù)雜的異構(gòu)集成例子,顯示多個Chiplet堆疊在有源中間層上。
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HIR涵蓋廣泛主題,組織成幾個關(guān)鍵領(lǐng)域:集成過程異構(gòu)集成組件系統(tǒng)和市場應(yīng)用跨領(lǐng)域主題
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% A5 _* v4 Y9 p i* {/ G這些領(lǐng)域進一步分為23個章節(jié),涵蓋從單芯片集成到新興研究材料和安全考慮的各個方面。$ e: Y9 A6 f$ Q! T6 j/ M
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- `# I; m/ _, m0 \0 d圖3:顯示異構(gòu)集成路線圖的結(jié)構(gòu),展示其各個章節(jié)和重點領(lǐng)域。+ c1 ^& I% o! W6 @$ X+ _7 P
$ w7 o7 q2 o% a異構(gòu)集成的挑戰(zhàn)和機遇5 }" {2 G d0 R3 [: `: n
隨著行業(yè)向更復(fù)雜的集成系統(tǒng)發(fā)展,新的挑戰(zhàn)出現(xiàn)。最關(guān)鍵的領(lǐng)域之一是可靠性。異構(gòu)集成引入了新的多尺度芯片封裝相互作用和多物理失效模式,需要解決。2 f' }) x( b' b4 [/ e. t0 W4 m' N" f
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圖4:顯示異構(gòu)集成系統(tǒng)的可靠性浴盆曲線,說明多個競爭性失效模式。" E8 }# N% k7 }, _* y& b
( G" P+ q7 ?; {8 J6 M為應(yīng)對這些挑戰(zhàn),行業(yè)正在開發(fā)新的方法來管理可靠性。這些方法結(jié)合了自下而上的物理模型和自上而下的大數(shù)據(jù)分析。目標是創(chuàng)建"數(shù)字孿生"——物理系統(tǒng)的虛擬表示,可以預(yù)測和管理產(chǎn)品整個生命周期的可靠性。
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圖5:展示了管理可靠性的"數(shù)字孿生"概念,顯示自下而上和自上而下方法的融合。
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% I T ^ O' {' PHIR概述了未來15年可靠性進展的路線圖:1-5年:開發(fā)多物理融合方法用于可靠性保證,結(jié)合基于物理和機器學(xué)習(xí)的工具。5-10年:為下一代穩(wěn)健HI系統(tǒng)的協(xié)同設(shè)計和預(yù)測健康管理(PHM)創(chuàng)建融合方法,關(guān)注容錯和彈性設(shè)計。10-15年:發(fā)展到具有集成自主生命周期管理能力的智能、自適應(yīng)和可重構(gòu)產(chǎn)品,包括自我認知和自我修復(fù)系統(tǒng)。! b, j J- D( m6 A4 `- x
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- Y. M, ], k5 p熱管理:關(guān)鍵挑戰(zhàn)
1 [- b; W1 X' O& p% f# a隨著系統(tǒng)集成度越來越高,熱管理變得越來越重要。HIR確定了熱技術(shù)進步的幾個關(guān)鍵領(lǐng)域:熱界面材料:開發(fā)更高效的材料用于組件間的熱傳遞。高性能計算多芯片模塊的系統(tǒng)熱限制:推動高性能計算應(yīng)用的冷卻邊界。嵌入式液體冷卻:探索芯片和芯片堆疊的先進冷卻技術(shù)。先進熱材料:研究具有優(yōu)異熱性能的新材料。熱機械建模:開發(fā)更好的工具來預(yù)測和管理異構(gòu)系統(tǒng)中的熱應(yīng)力。
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1 K& G: R2 ?4 P. O. O! V圖6:概述了異構(gòu)集成的先進熱技術(shù)和研究領(lǐng)域。
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( Z& H7 t J: J, a' k8 }" r6 ?. r協(xié)同設(shè)計:整體方法" Q% V: m5 h+ T% S
為充分實現(xiàn)異構(gòu)集成的潛力,協(xié)同設(shè)計方法不可或缺。這種方法同時考慮系統(tǒng)設(shè)計的各個方面,包括:布局和布線架構(gòu)電磁和電氣考慮熱管理智能材料測試和可靠性機械考慮! @" I7 L5 f8 J5 g3 v9 Y F
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0 e5 [/ [5 ?0 g4 |圖7:顯示多尺度和多物理芯片封裝相互作用(CPI)流程,說明異構(gòu)集成中協(xié)同設(shè)計的復(fù)雜性。3 y8 M. ^& x2 ~) a1 {/ y
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協(xié)同設(shè)計方法需要大量基礎(chǔ)設(shè)施和研究支持。大學(xué)在通過研究和人才培養(yǎng)推動該領(lǐng)域發(fā)展方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。此外,開源工具和行業(yè)標準等共享資源對促進合作和創(chuàng)新極為重要。1 ~# E! E! R$ S3 t* l `
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結(jié)論# p2 ^; ?2 i4 ~8 y
異構(gòu)集成代表半導(dǎo)體技術(shù)的新前沿。通過結(jié)合多樣化的組件和技術(shù),可以提供高性能和功能。然而,這種方法也在設(shè)計、制造和可靠性方面帶來新的挑戰(zhàn)。
9 p- i3 q& V+ a6 \ f* q8 p
; G# ~5 h& c" @* d' C) S; `7 g異構(gòu)集成路線圖為行業(yè)提供指導(dǎo),概述關(guān)鍵研究領(lǐng)域和技術(shù)里程碑。未來,整個生態(tài)系統(tǒng)的合作——從材料供應(yīng)商到系統(tǒng)集成商——將是成功的關(guān)鍵。
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參考文獻. V/ |; u' \3 X( I3 I
[1] R. Rao, "Heterogeneous Integration Roadmap," presented at CMSE 2024, May 1, 2024.
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。- R) U1 `) c# b5 l6 n/ n) @1 {( z
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