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引言7 ~- i0 f% w) N; I
在大數(shù)據(jù)和人工智能時(shí)代,對(duì)更快、更高效計(jì)算系統(tǒng)的需求不斷增加;隈T·諾依曼架構(gòu)的傳統(tǒng)電子計(jì)算機(jī)難以應(yīng)對(duì)數(shù)據(jù)密集型任務(wù)。光電子集成芯片(PIC)提供了有希望的解決方案,利用光的固有特性,如高帶寬、高功率效率和高并行性。然而,缺乏光學(xué)可訪問的存儲(chǔ)器是實(shí)現(xiàn)光計(jì)算全部潛力的重大障礙。
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; _2 {- }% R8 ~為解決這一挑戰(zhàn),研究人員開發(fā)了基于鐵電硅環(huán)形諧振器的非易失性光電存儲(chǔ)器。這種創(chuàng)新器件可以通過電學(xué)和光學(xué)方法進(jìn)行編程和擦除,架起了電子和光子線路之間的橋梁[1]。
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圖1:具有電學(xué)和光學(xué)編程/擦除功能的非易失性光存儲(chǔ)單元示意圖。
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6 @4 h* s Y: U2 n+ e8 \鐵電硅環(huán)形諧振器/ K. k7 f2 g# Q4 J9 s3 W m
此存儲(chǔ)單元的核心是集成了鋁摻雜二氧化鉿(HAO)鐵電材料的環(huán)形諧振器結(jié)構(gòu)。這種薄膜直接沉積在硅波導(dǎo)上,實(shí)現(xiàn)了光學(xué)特性的非易失性調(diào)制。器件使用氧化銦錫(ITO)作為透明頂電極,而輕摻雜的硅波導(dǎo)作為底電極。
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當(dāng)在電極間施加電壓時(shí),HAO薄膜中的偶極子會(huì)發(fā)生翻轉(zhuǎn)。這種翻轉(zhuǎn)產(chǎn)生剩余極化,改變了下層硅波導(dǎo)中的空穴濃度,從而改變其折射率。這種靜電摻雜效應(yīng)使器件能夠在不消耗能量的情況下保持信息存儲(chǔ)狀態(tài)。
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圖2:環(huán)形區(qū)域的截面圖,顯示器件的層狀結(jié)構(gòu)。1 i/ m1 D! ?7 {& v% ^
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存儲(chǔ)單元可以通過電學(xué)和光學(xué)方法進(jìn)行編程和擦除。電學(xué)控制是通過直接向電極施加電壓脈沖實(shí)現(xiàn)的。對(duì)于光學(xué)控制,器件使用兩個(gè)光電二極管將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電偏置,實(shí)現(xiàn)光-電-光(OEO)轉(zhuǎn)換。
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這種存儲(chǔ)單元的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)是多級(jí)存儲(chǔ)能力。通過施加不同的編程電壓,器件可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同的狀態(tài),對(duì)應(yīng)于鐵電開關(guān)的不同級(jí)別。這允許每個(gè)單元存儲(chǔ)多于一位的信息,提高了存儲(chǔ)密度。
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圖3:通過電學(xué)和光學(xué)編程/擦除后進(jìn)行光學(xué)讀取,展示多級(jí)存儲(chǔ)能力。5 z, L$ m' {; x- L( { w
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研究人員通過各種測(cè)試展示了器件的性能。在5V的低工作電壓下,達(dá)到了6.6 dB的高光學(xué)消光比。存儲(chǔ)單元在5V下顯示了4 × 104次的耐久性,在4V下達(dá)到1 × 106次,表明具有良好的可靠性。& {8 ?. Z" A- F5 ?, j0 J
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圖4:保持測(cè)試結(jié)果,顯示存儲(chǔ)單元的非易失性特性。' u+ _3 Q: X" \' H* A& x7 ?- E
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保持測(cè)試證明了存儲(chǔ)的非易失性,在1000秒內(nèi)沒有觀察到明顯的退化。數(shù)據(jù)外推表明保持時(shí)間超過10年,適合長(zhǎng)期存儲(chǔ)應(yīng)用。4 M: C7 e% R) I9 {
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器件的多模式操作是另一個(gè)重要特征。可以使用光學(xué)和電學(xué)方法進(jìn)行編程、擦除和讀取。這種靈活性使其非常適合未來混合架構(gòu)中電子和光子系統(tǒng)的接口。! y- n4 e! T1 K2 d+ o
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圖5:混合模式操作的測(cè)量設(shè)置,顯示光學(xué)和電學(xué)組件的集成。& Z% `4 S+ h# y6 \8 d5 ^
9 K4 r* D% Q$ F* p; V; ]研究人員還分析了多級(jí)存儲(chǔ)的原始位錯(cuò)誤率(RBER),發(fā)現(xiàn)低于5.9 × 10-2。這種錯(cuò)誤水平足夠低,可以使用標(biāo)準(zhǔn)的錯(cuò)誤糾正技術(shù)(如低密度奇偶校驗(yàn)(LDPC)編碼)輕松糾正。
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* a5 _6 ?' b" o% f! [1 A開發(fā)這種存儲(chǔ)單元的一個(gè)挑戰(zhàn)是平衡ITO頂電極的透明度和導(dǎo)電性。這些特性之間存在權(quán)衡,因?yàn)楦玫膶?dǎo)電性會(huì)導(dǎo)致更高的光學(xué)吸收,可能降低光學(xué)環(huán)形諧振器的性能。研究人員發(fā)現(xiàn),13 nm厚的ITO層提供了可接受的平衡,導(dǎo)致約0.018 dB/μm的額外光學(xué)損耗。# P- c8 s: r$ Z0 m8 Q' m
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圖6:Si波導(dǎo)上ITO/HAO柵極堆棧的損耗測(cè)試結(jié)果,顯示柵極堆棧引入的額外損耗。
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未來展望與改進(jìn)方向
% L! A9 _, m7 t6 W5 C, _未來存在幾個(gè)潛在的改進(jìn)領(lǐng)域。器件的開關(guān)速度目前受限于硅波導(dǎo)中的載流子濃度,可以通過優(yōu)化摻雜剖面來提高。通過硅和HAO層之間的界面工程可以提高耐久性。此外,集成片上組件(如光電二極管、電阻器和偏置三通)可以減少噪聲并提高整體性能。
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這種鐵電光電存儲(chǔ)器的開發(fā)代表了混合電光系統(tǒng)領(lǐng)域的進(jìn)步。光學(xué)和電學(xué)域之間的接口能力,結(jié)合非易失性和多級(jí)存儲(chǔ)能力,使其成為廣泛應(yīng)用的有前景技術(shù)。這些應(yīng)用包括光互連、高速數(shù)據(jù)通信和神經(jīng)形態(tài)計(jì)算。# M5 |1 W/ Z! ~; U) B6 X7 y! ~
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參考文獻(xiàn)
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5 f3 G; z" o' W關(guān)于我們:
3 `" b# B5 b2 d- i o+ v; L深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對(duì)光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。
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