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引言, W. a! q4 Q6 z; w# c# e) Z% a
pMaxwell RCWA 在其最新的0.6版本中引入了令人興奮的新功能,包括強大的可視化工具和折射率監(jiān)視器。這次更新大大提升了軟件顯示和分析仿真數(shù)據(jù)的能力。本文介紹這些新特性,包括一維和二維繪圖功能,以及獲取仿真結(jié)構(gòu)中指定界面的介電常數(shù)和磁導率的方法。$ h1 B$ ?; `7 C. M7 O
' H, _) {4 O1 V5 A3 EpMaxwell是PIC Studio光電設計與仿真方案的重要組成部分,在整個流程圖中位于右下角的元件部分。突顯了pMaxwell RCWA在光電子集成芯片設計和仿真過程中的關鍵角色。( Q) T" D3 z o) ^( O8 K3 x" G
q) A7 P) y0 [ o, i
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' |: Y4 l( I; V- W) j5 c, B" s) A' U7 O! N5 F2 {; ] f
0.6版本更新亮點:
* R4 X4 U* m# u. }4 k1. 新增可視化功能:包括1D和2D數(shù)據(jù)的繪圖能力2 l9 n& \. g$ @3 J& B
2. 折射率監(jiān)視器:允許用戶獲取指定界面的介電常數(shù)和磁導率
* b' k+ N. H9 d9 Q( w3. 增強的數(shù)據(jù)分析能力:使用戶能更深入地理解復雜光學結(jié)構(gòu)6 }, D7 N( _9 Q
h% t& v& m% ?6 S" O3 H
這些新功能不僅提高了pMaxwell RCWA的實用性,還為用戶提供了更直觀、更全面的數(shù)據(jù)分析工具。接下來,我們將探討這些新功能的使用方法和應用實例。+ ~8 |/ m1 g2 E; z' T
- Q- x+ t+ X" Z2 x1 _可視化功能
( d4 Y- a' K* A一維繪圖 plot_1D 函數(shù)是0.6版本中新增的功能,允許用戶輕松可視化一維數(shù)據(jù)。其語法如下:
# X* y1 x1 B+ e- e# m2 c. H# w3 }! z: a
plot_1D(x, y, data_type, **kwargs)
- {, z/ a: t! C& y- j參數(shù):
$ S# R1 Q6 M3 q% Y9 Sx:x軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)y:需要可視化的數(shù)據(jù)(列表、元組或一維數(shù)組)data_type:要可視化的數(shù)據(jù)類型("real"、"image"或"abs")**kwargs:用于自定義繪圖的附加參數(shù): H1 ^1 _2 q8 G5 j
4 ~+ m* L- r: A' G& n' i/ f6 V
" V1 N. j( U x
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2 A+ s1 p+ t$ J: b; E+ f圖1展示了0.6版本中新增的plot_1D()函數(shù),用于可視化菲涅爾方程數(shù)據(jù)的例子,顯示了導入必要模塊和設置繪圖的代碼片段。
1 `8 ?3 r5 f2 ?& k5 W
! ~: a6 v$ \/ @- F二維繪圖 plot_2D 函數(shù)能夠可視化二維數(shù)據(jù):* \( k4 W8 ?" F9 N" t5 I% r
& K" v% C* C- z
plot_2D(x, y, data, data_type, **kwargs)
6 L. k2 y$ ?2 h- c0 o9 t參數(shù):
+ W2 \. } A& Q( d/ C& Mx:x軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)y:y軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)data:需要可視化的二維數(shù)組數(shù)據(jù)data_type:要可視化的數(shù)據(jù)類型("real"、"image"或"abs")**kwargs:用于自定義繪圖的附加參數(shù)
6 F" `1 \0 W* U9 |
9 ~' |7 l1 b$ [0 d" `- ^# U* J. K3 G$ X, S' u! v! m
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9 X) C. J2 W$ d9 u+ i* t9 I
圖2展示了使用plot_2D()可視化超透鏡單元結(jié)構(gòu)xz平面電磁場Ex分量實部的例子。
l9 a" @" s) a; F3 b( a' E" C6 L折射率監(jiān)視器
! w, W% Z# Z W6 i2 t/ TpMaxwell RCWA 現(xiàn)在包含了獲取仿真結(jié)構(gòu)中指定界面的介電常數(shù)和磁導率的函數(shù):
2 t2 R J( r+ `( ]3 M- p1 V1. GetEpsMu_xy(mesh, layer_number)& o' }7 c) h- {4 R+ M
2. GetEpsMu_xz(mesh, z_info, y_position)' f, K2 d# L8 s" R/ E" V" m
3. GetEpsMu_yz(mesh, z_info, x_position)
8 v7 n7 v0 ]/ r. E0 N; z# I* G: O& |" i1 J6 Z
參數(shù):
( A4 N B) i2 ?2 e$ O. n# A$ Kmesh:仿真網(wǎng)格對象+ R0 P: B1 C4 F& _7 l
layer_number:層標記(-1表示入射層,0到N表示結(jié)構(gòu)層,N表示出射層); H" }4 k! W% O; n+ d% O- d" P5 \* `
z_info:z軸范圍和分辨率(start, stop, grid_number)
5 H! Q s# \3 w A! fx_position:yz平面的x軸位置
5 ^ b" k3 Y( w3 B8 m& y2 B, Ay_position:xz平面的y軸位置
6 ~: \# N) G: `3 |4 b7 ?2 j, F: O6 n
O8 p$ ^9 v- E5 b" K o7 h, H( n
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' a7 M% y% j3 S& `) S
圖3提供了使用GetEpsMu函數(shù)獲取xy、xz和yz平面介電常數(shù)的代碼片段示例。* R! c% _, V1 @- H
; ]( {) Z, w& Z( s/ m7 b& D) o0 j
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5 A0 \9 f! K+ Q3 i
圖4顯示了一維矩形光柵結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實部。
& B M8 H! f9 B) k- j: b, x6 K1 G
. Q8 K) Q: o! n5 m9 M' J( v結(jié)構(gòu)參數(shù):
1 t) V4 \" z7 q- h5 m' h& p$ T周期:300 nm
0 D! y9 g# q! x( j寬度:200 nm- y* t2 y4 t- ]7 [ @" x
高度:300 nm. h. H% T$ p% l/ ? [5 N; ~
硅折射率:4.22706 + 0.0599998j
& ]3 [7 n/ u% s: [8 a二氧化硅折射率:1.4616(入射層)
6 j8 I1 E* V& B- E- B& c+ C9 [' k$ g7 O. C/ L3 m* o$ n
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8 E o2 ?: F- @* {: b% Y
圖5顯示了一維傾斜光柵結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實部,其中坐標原點已調(diào)整以提供更好的可視化效果。% q" x1 S& {9 I5 c/ O& L6 f
. f- t: ~; p M2 L) o$ M7 u
結(jié)構(gòu)參數(shù):* `/ ?' p( x( f- z. b! }4 P
周期:393 nm填充系數(shù):0.5寬度:196.5 nm高度:300 nm傾斜角:60°空氣折射率:1.0光柵折射率:1.8分層數(shù):30
/ I0 g- t1 M5 g5 l) ?7 _! C% z; r
( I: X( P5 p: t9 n/ i- x, z& `7 v/ f- H& q* z
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1 X1 T# z* O! R5 @ i. d w圖6顯示了二維金屬超表面結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實部。! D0 d5 c2 S0 C, K$ \
4 ?& ?' D# I7 Q1 r
結(jié)構(gòu)參數(shù):+ r% I% i8 h7 L/ \: Y
周期:0.4 μm高度h1:0.5 μm高度h2:0.04 μm長度L:0.2 μm寬度w:0.05 μm柱介電常數(shù):-14.8406 + 1.65i(銅)基底介電常數(shù):2.12001(玻璃)入射介質(zhì)介電常數(shù):1.0(空氣)出射介質(zhì)介電常數(shù):2.12001(玻璃)
) {- m" W( F5 c7 s( G6 j; L- J3 |% r: F
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5 G1 W' {* f2 c. y
圖7顯示了不規(guī)則結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實部,其中xz平面可視化經(jīng)過縮放以強調(diào)結(jié)構(gòu)細節(jié)。& o4 ^$ r0 m+ G
5 K8 ]. | x) |; r- n
結(jié)構(gòu)參數(shù):
1 B. C# `. |3 j. u w& E8 t) g! d周期:0.35 μm高度:1.3 μm柱介電常數(shù):4.1616基底介電常數(shù):2.12074入射介質(zhì)介電常數(shù):2.12074出射介質(zhì)介電常數(shù):1.0
& Q1 @$ Q6 y0 w" E; ]6 i/ j% y
! ~3 H" H# p& v3 |
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+ K u0 ~, w) M0 v' I4 F* Q% k圖8顯示了由長方體和圓柱組成的雙層結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實部。3 Q7 z" V, [8 y r/ T% g# }
7 R* B+ x3 p T: u6 I0 L1 f結(jié)構(gòu)參數(shù):) j' a X' G* H( A8 O
周期:0.4 μm高度h1:0.5 μm高度h2:0.04 μm長度L:0.2 μm寬度w:0.05 μm柱介電常數(shù):-14.8406 + 1.65i(銅)基底介電常數(shù):2.12001(玻璃)入射介質(zhì)介電常數(shù):1.0(空氣)出射介質(zhì)介電常數(shù):2.12001(玻璃)
! g1 |" T4 \+ b. n1 O9 y% P6 W結(jié)論: b. j3 J( z, K& i
pMaxwell RCWA 的新增可視化功能和折射率監(jiān)視器為分析和可視化復雜光學結(jié)構(gòu)提供了強大的工具。通過利用這些特性,研究人員和工程師可以對仿真結(jié)果有更深入的理解,從而更有效地設計和優(yōu)化光學器件。輕松可視化一維和二維數(shù)據(jù)的能力,以及檢查不同平面上介電常數(shù)和磁導率的功能,提升了pMaxwell RCWA軟件的整體功能和用戶體驗。這些新功能將幫助用戶更好地理解和分析復雜的光學系統(tǒng),為光電子技術(shù)、硅基光電子和光電共封裝等領域的發(fā)展提供有力支持。/ w. O6 N; Q; K; {5 H+ G" d }) N2 I
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導體芯片設計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設計和仿真軟件,提供成熟的設計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設計與仿真。我們提供特色工藝的半導體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務,廣泛服務于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務。
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