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pMaxwell RCWA 0.6版新增可視化功能和折射率監(jiān)視器

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發(fā)表于 2024-9-11 08:00:00 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |正序?yàn)g覽 |閱讀模式
引言/ T/ N/ X% p. n1 w2 E8 N
pMaxwell RCWA 在其最新的0.6版本中引入了令人興奮的新功能,包括強(qiáng)大的可視化工具和折射率監(jiān)視器。這次更新大大提升了軟件顯示和分析仿真數(shù)據(jù)的能力。本文介紹這些新特性,包括一維和二維繪圖功能,以及獲取仿真結(jié)構(gòu)中指定界面的介電常數(shù)和磁導(dǎo)率的方法。9 A2 ]% B" k; Q
4 m4 h6 ?# N% l5 y4 t
pMaxwell是PIC Studio光電設(shè)計(jì)與仿真方案的重要組成部分,在整個流程圖中位于右下角的元件部分。突顯了pMaxwell RCWA在光電子集成芯片設(shè)計(jì)和仿真過程中的關(guān)鍵角色。4 ^; ]' b! c0 M1 o2 a6 ?. A; x/ i

* _1 s, b1 \8 W  W/ b6 A" i8 I" X
! N4 s/ W. b* C  Q9 M5 b$ w. Z0 w4 P  q  J9 r, N( w; x- s# h
0.6版本更新亮點(diǎn):
" d/ S; C. c- T1. 新增可視化功能:包括1D和2D數(shù)據(jù)的繪圖能力
6 I$ R  }$ M1 a2 h8 b1 a2. 折射率監(jiān)視器:允許用戶獲取指定界面的介電常數(shù)和磁導(dǎo)率6 G0 P4 E  @! k* d+ u: O4 `
3. 增強(qiáng)的數(shù)據(jù)分析能力:使用戶能更深入地理解復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu)
3 A  T6 x1 u9 r6 V9 I
$ m. X/ n' p: u  a5 K這些新功能不僅提高了pMaxwell RCWA的實(shí)用性,還為用戶提供了更直觀、更全面的數(shù)據(jù)分析工具。接下來,我們將探討這些新功能的使用方法和應(yīng)用實(shí)例。" S. J. ?. F( c4 F
, V: X& U8 d5 Q3 S" t$ i) s
可視化功能- R- n6 [; X& E) v. k
一維繪圖 plot_1D 函數(shù)是0.6版本中新增的功能,允許用戶輕松可視化一維數(shù)據(jù)。其語法如下:, u9 N5 d" Q. V' M$ L
+ Y  p8 E! m3 n  {; s
plot_1D(x, y, data_type, **kwargs)
4 X2 R4 Q  f. B0 V- b0 p* m/ @$ {& {參數(shù):
; p, N' Y0 T* T6 _! R, R
  • x:x軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)
  • y:需要可視化的數(shù)據(jù)(列表、元組或一維數(shù)組)
  • data_type:要可視化的數(shù)據(jù)類型("real"、"image"或"abs")
  • **kwargs:用于自定義繪圖的附加參數(shù)
    . @- Q$ S* e9 p3 q5 q* [9 i  G; d

    0 r& s2 ]* b7 `, s! [
    , t" ~# n* g) ?/ p ; S& d# R& P3 {
    圖1展示了0.6版本中新增的plot_1D()函數(shù),用于可視化菲涅爾方程數(shù)據(jù)的例子,顯示了導(dǎo)入必要模塊和設(shè)置繪圖的代碼片段。# e- Y9 K# d$ F( u* E2 M8 d6 ?* ]( I9 f

    ! t0 A  V4 P. \' t二維繪圖 plot_2D 函數(shù)能夠可視化二維數(shù)據(jù):0 ~) P9 s1 q, L6 s; \" f2 r

    5 A5 _& I7 b0 J3 y) D# _6 X/ Xplot_2D(x, y, data, data_type, **kwargs)
    3 M5 N2 o; t4 q6 s5 V  r參數(shù):3 T0 h& l( a, }5 s5 \( J
  • x:x軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)
  • y:y軸數(shù)據(jù)范圍(一維數(shù)組或列表)
  • data:需要可視化的二維數(shù)組數(shù)據(jù)
  • data_type:要可視化的數(shù)據(jù)類型("real"、"image"或"abs")
  • **kwargs:用于自定義繪圖的附加參數(shù)
    / d$ r* w/ ?8 V4 {8 Q1 d! G

    7 J: L! ?. F& |0 @; U' g! F% _3 p/ A: T$ B% o) T8 r

    9 ~' I: X5 J( n/ P圖2展示了使用plot_2D()可視化超透鏡單元結(jié)構(gòu)xz平面電磁場Ex分量實(shí)部的例子。
    : e6 W5 U/ }% ~0 V( G  P折射率監(jiān)視器" q$ h  P$ @1 }: C6 ^
    pMaxwell RCWA 現(xiàn)在包含了獲取仿真結(jié)構(gòu)中指定界面的介電常數(shù)和磁導(dǎo)率的函數(shù):1 J8 F7 _9 X2 x7 e8 e
    1. GetEpsMu_xy(mesh, layer_number)
    7 w$ K, p5 W5 ]1 E9 I2. GetEpsMu_xz(mesh, z_info, y_position)& V( H( @4 y4 d& a6 s- I5 S
    3. GetEpsMu_yz(mesh, z_info, x_position)- V! j$ i% D- }0 g; {' w: X

    ; u$ E5 P" _: [1 f, y! ?參數(shù):
    ( Q, v) H, Q/ B* l. f) ]) `mesh:仿真網(wǎng)格對象
    / R" }+ Y& K# f- R; K5 F3 }0 glayer_number:層標(biāo)記(-1表示入射層,0到N表示結(jié)構(gòu)層,N表示出射層)/ ?% H" }9 T8 ?* o5 `. o
    z_info:z軸范圍和分辨率(start, stop, grid_number)
    ( f* N$ X" s0 a. f# ]* ^x_position:yz平面的x軸位置0 _( D3 ?" v1 m
    y_position:xz平面的y軸位置7 g3 t" b4 ^! i7 g! o1 s

    + L/ c5 P  A# X. O$ e
    ! M$ c4 D: ^& [( Q1 m ( e, o/ W+ N# Q; z
    圖3提供了使用GetEpsMu函數(shù)獲取xy、xz和yz平面介電常數(shù)的代碼片段示例。% h& V; n& v3 C0 U

    3 c* T# B6 z5 P1 K! r* w $ S  ~. O+ l9 u. {- v
    圖4顯示了一維矩形光柵結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實(shí)部。
    : y6 w- b9 x5 a
    2 u6 F  v$ x. C' s) U0 b4 r3 R. ?結(jié)構(gòu)參數(shù):
    3 E$ m  {7 p* H周期:300 nm/ o9 Y, h, K0 T+ m
    寬度:200 nm8 h0 M! z8 r  c1 N  l- V
    高度:300 nm
    3 {' C& p  }9 }& {8 {! ~" T硅折射率:4.22706 + 0.0599998j
    & W$ {. ^) A/ C( ^8 \1 u二氧化硅折射率:1.4616(入射層)
    3 {3 i, K( U5 C+ x2 Y  [- ?. l5 Z7 o2 J9 a
    5 z$ E" `; w7 \
    ; f! ~4 s; s/ Y7 ]
    圖5顯示了一維傾斜光柵結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實(shí)部,其中坐標(biāo)原點(diǎn)已調(diào)整以提供更好的可視化效果。
    ; G; u8 A% F* l; c# Y
    / ^* k. x+ F6 Z+ F5 H) h結(jié)構(gòu)參數(shù):
    / @' h/ B/ K6 [4 F" b
  • 周期:393 nm
  • 填充系數(shù):0.5
  • 寬度:196.5 nm
  • 高度:300 nm
  • 傾斜角:60°
  • 空氣折射率:1.0
  • 光柵折射率:1.8
  • 分層數(shù):30; M8 G( Y. f, N9 P. m: e+ H: |9 }3 L1 N

    1 E: e; R1 F3 V) K( `
    6 a, Y! Q0 L8 x, e" m
    * }' A3 R. t% ?- j圖6顯示了二維金屬超表面結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實(shí)部。6 H+ O+ l+ {3 C6 h2 L9 r  E8 j
    / C( N# J  k1 U3 h5 L
    結(jié)構(gòu)參數(shù):
    5 ~9 E$ q4 F" `. n* [
  • 周期:0.4 μm
  • 高度h1:0.5 μm
  • 高度h2:0.04 μm
  • 長度L:0.2 μm
  • 寬度w:0.05 μm
  • 柱介電常數(shù):-14.8406 + 1.65i(銅)
  • 基底介電常數(shù):2.12001(玻璃)
  • 入射介質(zhì)介電常數(shù):1.0(空氣)
  • 出射介質(zhì)介電常數(shù):2.12001(玻璃)) I$ B3 ~5 b0 o1 W. z$ ?- a
    9 j- n6 R; I/ I6 ]
    / R# U( O+ D: S" g. o; }! B
    圖7顯示了不規(guī)則結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實(shí)部,其中xz平面可視化經(jīng)過縮放以強(qiáng)調(diào)結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。; c* t/ a! t; ^" y

    / p1 ]: D! m3 M1 o9 ?$ }7 j, a結(jié)構(gòu)參數(shù):/ ~! T8 p" _: O, L( {. L- z
  • 周期:0.35 μm
  • 高度:1.3 μm
  • 柱介電常數(shù):4.1616
  • 基底介電常數(shù):2.12074
  • 入射介質(zhì)介電常數(shù):2.12074
  • 出射介質(zhì)介電常數(shù):1.0
    : f7 q4 H1 `7 n5 b
    ! w2 x% g2 a8 ^6 Q/ F* z

    ' L: V( s. ^& P4 S  i& M6 j) I
    ( O% V" F; o5 }: K  |圖8顯示了由長方體和圓柱組成的雙層結(jié)構(gòu)的xy、xz和yz平面介電常數(shù)實(shí)部。3 e8 y. D9 _7 v  c) M1 _

    % v# M: P4 ?7 A( P; ]4 @  ]結(jié)構(gòu)參數(shù):( M# p( c* `) {: I+ d
  • 周期:0.4 μm
  • 高度h1:0.5 μm
  • 高度h2:0.04 μm
  • 長度L:0.2 μm
  • 寬度w:0.05 μm
  • 柱介電常數(shù):-14.8406 + 1.65i(銅)
  • 基底介電常數(shù):2.12001(玻璃)
  • 入射介質(zhì)介電常數(shù):1.0(空氣)
  • 出射介質(zhì)介電常數(shù):2.12001(玻璃)
    6 T% q. Q2 D# C6 I$ c
    結(jié)論/ H& c8 |3 \3 X- L7 v; h5 V# u
    pMaxwell RCWA 的新增可視化功能和折射率監(jiān)視器為分析和可視化復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu)提供了強(qiáng)大的工具。通過利用這些特性,研究人員和工程師可以對仿真結(jié)果有更深入的理解,從而更有效地設(shè)計(jì)和優(yōu)化光學(xué)器件。輕松可視化一維和二維數(shù)據(jù)的能力,以及檢查不同平面上介電常數(shù)和磁導(dǎo)率的功能,提升了pMaxwell RCWA軟件的整體功能和用戶體驗(yàn)。這些新功能將幫助用戶更好地理解和分析復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),為光電子技術(shù)、硅基光電子和光電共封裝等領(lǐng)域的發(fā)展提供有力支持。
    & V% D# c* ^& z- ?. |) t
    ( D+ q' t9 g: B  Q$ q3 w/ A* f- END -, f; @8 {4 w2 k' d' P1 Q& }( _' A
    8 F4 V2 J, ^9 E* x$ n& V6 D
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    關(guān)注我們+ r; z9 d' Q4 h* q2 p3 P  l5 j

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    . r. h; _! f8 i' N) J- E+ a; V 8 H9 k6 r  {7 n7 p5 l9 [8 o8 u

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    1 {- A  @% s$ ~* N
    2 A2 N8 B" ~4 k& W) _

    - t0 k; s( n; J9 Q6 f" w+ i- k) w# g' q5 Z5 ^* D3 [/ I
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    ) o2 v% w" V+ v& a# E深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。& u# ^; k' W, {" P1 j

    ) T* C  R6 b& d" i6 \& y' N2 @( Whttp://www.latitudeda.com/
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