|
|
單晶硅爐，也稱(chēng)全自動(dòng)直拉單晶生長(zhǎng)爐，是一種在惰性氣體（氮?dú)狻⒑鉃橹鳎┉h(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備，將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行高溫熔化（1450℃以上），在低真空度和氬氣保護(hù)下，通過(guò)紫晶插入多晶硅熔體后，在紫晶周?chē)纬蛇^(guò)冷態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律生長(zhǎng)，形成一根單晶棒體。由主機(jī)、加熱電源和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)三大部分組成。. f5 [4 b8 J) X3 ^: v# q* i0 @
![]() ) l h/ E1 ?6 ^6 b- M+ e
* x3 S& I' d: [) P
直拉單晶爐可以用于生產(chǎn)硅、鎵、鍺等半導(dǎo)體材料的單晶，這些單晶材料被廣泛應(yīng)用于集成電路、太陽(yáng)能電池和光電器件等領(lǐng)域。
3 X9 X6 W/ m w. X（1）光伏行業(yè)發(fā)展：隨著全球?qū)稍偕茉吹男枨笤黾�，光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。單晶爐作為光伏產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備，其市場(chǎng)需求將持續(xù)增長(zhǎng)。
8 {4 V j* g& X（2）半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展：隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體市場(chǎng)需求也在增加。單晶爐在半導(dǎo)體工業(yè)中起著關(guān)鍵作用。通過(guò)生長(zhǎng)單晶硅棒，可以制備出高純度的硅單晶片，進(jìn)而用于制造集成電路（IC）和其他半導(dǎo)體器件，如太陽(yáng)能電池、光電二極管等。單晶爐也被廣泛應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域，可以制備出高質(zhì)量的光學(xué)元件，如激光晶體、光纖、光學(xué)窗口等，用于激光器、光通信、光學(xué)儀器等領(lǐng)域。) u: O0 b. [2 B2 o6 O1 R3 i9 x, {
其中單晶爐及晶爐設(shè)備是需要在惰性氣體（氮?dú)�、氦氣為主）環(huán)境中工作，需要很核心的器件流量控制器，去控制設(shè)備中的氣體需求量。
( |# {1 I" _' N. A& m! T/ f+ U/ U# Y質(zhì)量流量控制器MFC不僅能測(cè)量氣體的流量，具備流量計(jì)的功能，其測(cè)量值不因 壓力或溫度的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要進(jìn)行壓力溫度修正;而且它還可以控制流量，本身具有檢測(cè)控制電路和流量調(diào)節(jié)閥，是一個(gè)閉環(huán)控制單元。用戶可以根據(jù)需要在量 程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值，質(zhì)量流量控制器可以在輸入的氬氣壓力或環(huán)境溫度 發(fā)生變化時(shí)，自動(dòng)跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上，保證輸送的氬氣流量不產(chǎn)生波動(dòng)，從而穩(wěn)定單晶爐爐內(nèi)的真空度在2.6 kPa左右。
7 I3 G( }4 k4 l0 n下面來(lái)自工采傳感（ISWEEK）代理**SIARGO的一款高精度，量程范圍寬可選的流量控制器MFC2000系列。
( s0 W) g9 W9 e$ x6 D1 @![]() ' ]# F- D- N! v* i( \2 K* [4 C
( Z0 H) {4 M0 Q5 X/ AMFC2000系列質(zhì)量流量控制器采用公司專(zhuān)有的MEMS Thermal-D操作"“熱量傳感技術(shù)與智能控制電子設(shè)備，這種獨(dú)特的質(zhì)量流量傳感技術(shù)消除了一些擴(kuò)散率相似的氣體的氣體敏感性，并允許在編程后進(jìn)行氣體識(shí)別。本產(chǎn)品可用干動(dòng)態(tài)范圍為100:1的過(guò)程控制，其控制范圍為0.1至0.8MPa(15至120 PSL)的壓力和0至50℃的補(bǔ)償溫度。量程在50mL/min到200L/min不同范圍可選，帶有數(shù)字RS485 Modbus通信和模擬輸出。
0 }) N- `, }3 `$ ? |該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)便于更換機(jī)械連接器，標(biāo)準(zhǔn)連接器可選雙卡套、VCR或UNF，其他定制連接器可根據(jù)要求**。7 I+ ?8 k, @8 Z
SIARGO的MFC2000流量控制器在CVD設(shè)備中具有很重要的作用，可以精準(zhǔn)測(cè)量和控制氣體的大小，可以很好的實(shí)現(xiàn)在高溫度、高精度、高分辨中使單晶棒體的高純度生長(zhǎng)。
* \/ o s4 [8 h4 P" { z# n# J: ]8 u( D# {5 P# y" z$ n
|
|
電子產(chǎn)業(yè)一站式賦能平臺(tái)
/1 
窺視卡
置頂卡
變色卡
