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引言( I) j- D- F; `; L8 S
本文探討光子線路鍵合(Photonic Wire Bonds, PWBs)作為晶體微諧振腔耦合的新型解決方案。PWBs解決了將光高效耦合進高品質因數(shù)微諧振腔的長期技術挑戰(zhàn),同時保持了優(yōu)異的性能特征[1]。
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PWB結構與特性# M5 y+ c8 e5 n1 ]0 b
光子線路鍵合代表了光學耦合技術的進展。這些自由形態(tài)的波導通過雙光子聚合工藝制造,可以直接寫入光纖陣列端面。PWBs采用類似SU-8的專有負性光刻膠VanCore A制造,在應用中顯示出卓越的多功能性。/ u% J: E( T9 n- I3 Z3 s
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圖1:PWB設計和表征的全面概述,展示了(a) 光纖陣列上PWBs的掃描電鏡圖,(b) 四個不同延伸長度PWBs的顯微鏡圖像,(c) 功率集中的熱反射成像,(d) 光纖到光纖的損耗測量,以及(e) 有效折射率匹配的仿真結果。
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PWBs展現(xiàn)出優(yōu)異的性能指標,在1550納米波長處每個端面的插入損耗低至0.85分貝。在結構內可承受高達300毫瓦的功率水平,相當于光纖陣列端面400毫瓦的功率。設計包含回環(huán)結構,為倏逝波耦合提供最節(jié)省空間的幾何構型,支持輸入輸出端口寫入單個八通道V型槽光纖陣列的端面。
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線性運行與品質因數(shù)測量
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* a$ i+ _5 D: H: f& j3 [3 {圖2:線性區(qū)域表征設置和結果,顯示了(a) 實驗設置示意圖,(b) 系統(tǒng)的三維渲染圖,(c) MgF2晶體照片,(d) 耦合PWB的顯微圖像,(e) 顯示品質因數(shù)結果的線寬測量,以及(f) 耦合間隙依賴性研究。
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在輸入光功率低于10毫瓦的線性運行區(qū)域,系統(tǒng)表現(xiàn)出顯著的性能特征。直徑為4.92毫米的MgF2微諧振腔對應14.2吉赫茲的自由光譜范圍。PWB與微諧振腔之間的耦合在臨界耦合狀態(tài)下實現(xiàn)約85%的消光比,測得線寬約240千赫茲,在1550納米波長處對應約10億的負載品質因數(shù)。" H! P* b$ ^ P% D; |# f
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非線性運行與孤子產生, d. L1 V; E0 _
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0 y9 ^& E& U; j4 Z% @; F9 }' l圖3:非線性區(qū)域表征顯示了(a) 孤子產生的實驗設置,(b) 帶有sech2包絡擬合的單孤子光譜,以及(c) 14.25吉赫茲拍頻信號的電子頻譜分析儀跡線。# x# N( K/ Q) j7 P
5 g5 M) l: J) n4 e& s在較高功率水平(約100毫瓦)下,系統(tǒng)性能擴展到非線性區(qū)域。PWBs展示出優(yōu)異的穩(wěn)定性,在光纖陣列-PWB界面可長期承受高達400毫瓦的光功率。這種功率處理能力實現(xiàn)了孤子頻率梳的產生,在泵浦頻率處具有強中心線,隨后的譜線由微諧振腔的自由光譜范圍14.2吉赫茲分隔。: x9 V6 m& d$ j. [( l# u; S% d
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先進的噪聲表征+ {+ v% b! Q) q$ d2 l T
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4 }# y l4 p- ]. P圖4:靜點分析顯示了(a) 不同失諧下的孤子譜,(b) 微諧振腔重復率移動的可視化,以及(c) 正常運行點與靜點運行之間的相位噪聲比較。# d# L, ?0 l! h
- ~( ]% \2 H" t+ L% O% K+ c系統(tǒng)展示出復雜的噪聲特性,特別是在識別和利用"靜點"方面,這些點的激光-諧振失諧最小化相位噪聲。通過對模式交叉和自由光譜范圍移動的仔細分析,系統(tǒng)在這些最佳運行點實現(xiàn)約10分貝的噪聲抑制,產生在10千赫茲偏移處相位噪聲為-123分貝載波/赫茲的純微波信號。
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結論
! W9 n1 G/ l' b" v5 @* X0 P( XPWBs代表了晶體微諧振腔光學耦合的革新方案。PWBs能夠提供穩(wěn)健、高效的耦合,同時保持高品質因數(shù)并實現(xiàn)孤子產生,為光電子集成系統(tǒng)創(chuàng)造新機遇。包括十億級品質因數(shù)和低噪聲微波信號產生在內的性能展示,使PWBs成為下一代光電子技術應用的理想解決方案。& X2 V1 I( g$ M( I0 F5 Q: ?) v
4 a8 {) d }8 K' V8 p DPWBs與晶體微諧振腔的集成解決了耦合的歷史性挑戰(zhàn),同時保持了晶體平臺的卓越性能特征。這項進展促進了更緊湊、穩(wěn)定和高效的光電子系統(tǒng)的發(fā)展,應用范圍涵蓋從電信到精密計量等多個領域。
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0 f- O! P3 j4 o; k# m, ~, |, G參考文獻
9 g1 m; W, T Q: G- j# q1 `[1] Y. Takabayashi et al., "Microresonator photonic wire bond integration for Kerr-microcomb generation," Scientific Reports, vol. 14, no. 1, p. 29054, 2024, doi: 10.1038/s41598-024-79945-4.! b& K2 W' f2 Y7 Q9 ~" u
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導體芯片設計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設計和仿真軟件,提供成熟的設計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設計與仿真。我們提供特色工藝的半導體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務,廣泛服務于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領域的頭部客戶。逍遙科技與國內外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導體產業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術與服務。- R3 e3 \' A2 \1 F
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