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IEEE J-STQE更新 | 大型混合激光器陣列用于光電共封裝的熱擴(kuò)展性分析

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引言% d# F7 `) U" }& x7 }1 L
隨著數(shù)據(jù)中心流量持續(xù)呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng),對(duì)更高效的I/O鏈路的需求也在不斷增加。硅基光電子技術(shù)在開(kāi)發(fā)光電共封裝收發(fā)器方面展現(xiàn)出巨大潛力,可以最大限度地縮短與網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)的物理距離并減少寄生損耗。硅基光電子收發(fā)器的一個(gè)關(guān)鍵組件是光源模塊,通常采用波分復(fù)用(WDM)架構(gòu)在不同波長(zhǎng)上傳輸數(shù)據(jù)。
& e7 P% l  [& e# c! U- D6 }! l+ [/ b& q9 x1 H0 }9 P
開(kāi)發(fā)用于這些應(yīng)用的多波長(zhǎng)激光器陣列面臨幾個(gè)挑戰(zhàn),特別是在熱管理方面。隨著陣列中激光器數(shù)量的增加,熱串?dāng)_和模塊整體高溫問(wèn)題變得更加顯著。本文將探討用于光電共封裝的大型混合激光器陣列的熱擴(kuò)展性分析,重點(diǎn)關(guān)注翻轉(zhuǎn)芯片鍵合的InP-on-Si激光器[1]。
. U. {9 e9 x. d& `$ N- N
2 A0 W- d% _) {9 w1 J! ?6 `( F' C4 I: z1 ~6 j" `
激光器表征和建模* O" v. k7 B6 f6 B& u
為開(kāi)始分析,首先需要對(duì)激光器進(jìn)行實(shí)驗(yàn)表征并開(kāi)發(fā)精確的模型。本研究使用的激光器是尺寸為350x300x100 μm3的InP分布反饋(DFB)激光器,設(shè)計(jì)為在C波段工作,線寬小于1 MHz。
8 M/ d% V) G6 ~# O $ |# g, e: V. o' P/ g& }% `. F
圖1:顯示了測(cè)量的L-I-V曲線(光-電流-電壓)以及提取的激射效率和閾值電流隨溫度的變化。7 t) \1 i% x2 K4 {
4 A! k# H# _$ V
激光器的激射效率和閾值電流在不同溫度下進(jìn)行測(cè)量。如圖1所示,這兩個(gè)參數(shù)都表現(xiàn)出強(qiáng)烈的溫度依賴性。閾值電流隨溫度呈指數(shù)增加,而激射效率則呈指數(shù)下降。這些關(guān)系可以用以下方程描述:
" z4 p" ^# K' X! d( r1 b. D7 Z1 v4 N* g" n% I, A

2 g7 r" X  ]- Y, U" t
3 [# @; n# d1 }其中I0和η0是擬合參數(shù),T0和T1是特征溫度。
* m! ]  e" ]0 B0 W5 G6 R6 b  d$ A2 c; g! a
熱阻是另一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),決定了給定熱生成下激光器的工作溫度?梢酝ㄟ^(guò)以下方程實(shí)驗(yàn)確定:; ?3 {; F' K# S5 x) ~0 S- k

# ?4 G% A  ]2 m( ~. A! U& r  B- t
6 t9 [7 R: U8 P# _6 @- E" q- t
  p$ s4 X( a5 n. n; _( e其中λ是發(fā)射波長(zhǎng),T是溫度,P是輸入功率。
$ a9 t5 d% ?  m6 |- ?  m! _
3 P" w( S  B' V. b0 H; G0 U, D8 v
) G: H4 I9 y/ z圖2:顯示了測(cè)量的激光器波長(zhǎng)漂移與芯片溫度(左)和波長(zhǎng)漂移與施加電功率(右)的關(guān)系。& R  x1 K+ }) C+ H
2 {) _% G+ g7 g1 b3 u0 p
建模方法- h6 F: L5 {0 ]5 Y( u' Y# j5 }+ w
為分析大型激光器陣列的熱行為,我們需要開(kāi)發(fā)光學(xué)和熱學(xué)模型。光學(xué)模型描述了激光器輸出功率作為電流和溫度的函數(shù):! ~- d9 ~$ O3 `/ y
: e: T' p: O0 l6 [; x& _0 ]" G
& N3 ]& Q0 C& h# k
) R" @5 P- C# G% x: g7 t
這個(gè)方程需要迭代求解,以考慮光功率和溫度之間的相互依賴關(guān)系。6 n; X8 x2 K9 t/ x. T9 @6 E' X+ f
$ O) N- J( M- }0 d
對(duì)于熱建模,使用有限元分析來(lái)模擬激光器及周圍環(huán)境的溫度分布。模型包括激光器、載體芯片和鍵合結(jié)構(gòu)。% w7 K* q$ m- L1 E: H9 }5 {
. D8 c+ Y+ _; W) D' O, M' w! @1 a* L
  L  P) N6 j4 h3 C) @4 {: N
圖3:顯示了熱有限元模型的幾何結(jié)構(gòu)和計(jì)算網(wǎng)格。
. G, B3 C: [) ?3 z9 _
: `. f3 q9 N! o. X, |2 m- q8 N$ o為高效地模擬大型激光器陣列,基于熱耦合剖面開(kāi)發(fā)了一個(gè)緊湊的熱光模型。該模型區(qū)分了激光器內(nèi)部耦合(單個(gè)激光器芯片內(nèi)增益段之間的耦合)和激光器間耦合(獨(dú)立激光器芯片之間的耦合)。
$ {9 o" I! m$ j. X+ ]2 I2 H  G0 L# v" L) ~9 K3 B) v8 g# q7 m1 T
# j* X" D1 i2 P, h' w7 c( X
圖4:提供了混合激光器陣列的概念示意圖,突出顯示了激光器內(nèi)部和激光器間的熱耦合。
6 z/ D+ Y8 s! s; J2 J8 q5 f
" N& f4 g* v6 \緊湊模型使用矩陣乘法計(jì)算陣列中的溫度:
% N9 A5 @& R& g  a+ p0 h( a# b; T' B6 ?7 h$ W! p) F( `0 M: z
. {5 u  r0 K" G3 p, }
, g, F  B) `4 d6 v8 _; q7 v
其中T是溫度向量,P是熱生成向量,R是熱阻矩陣,C是熱耦合矩陣。+ F  U( k2 D6 B, l

. G1 H* T4 R  @: W' Q熱擴(kuò)展性分析6 t+ x* h) v, [
現(xiàn)在模型已經(jīng)就緒,可以分析各種因素如何影響激光器陣列的熱性能。- y' o; [! }% k# y7 C" v
3 n' `: N; Q! v7 J0 I/ J
1. 激光器寬度擴(kuò)展
8 ^2 h+ s/ U8 ?/ d. A$ Q隨著增加激光器芯片中的增益段數(shù)量,單位耗散熱量的熱阻會(huì)發(fā)生變化。
- I; S3 X+ E# I1 v! U1 @9 F$ R% Z* ?5 V

' \& S6 m, m8 n! z圖5:顯示了激光器寬度從1個(gè)增益段增加到4個(gè)再到16個(gè)的有限元模擬結(jié)果。8 p) e8 C5 u" C/ m! t% i2 f8 q
0 f4 e# w4 N( ~
模擬結(jié)果顯示,隨著增益段數(shù)量的增加,由于增益段之間的激光器內(nèi)部熱耦合,最高溫度也隨之上升。
) Z. j( D6 ?2 k$ M  C" U8 T, `4 I. n! d" C- b
2. 激光器長(zhǎng)度擴(kuò)展
' B0 p' P6 T2 C: \增加激光器長(zhǎng)度可能會(huì)產(chǎn)生不同的效果,這取決于如何擴(kuò)展功率密度。, a( B; G' O, w4 S
- c' Q( z( a' E3 B! H( A

6 V4 s2 D1 H7 z; D6 ^9 m圖6:顯示了在總功率恒定和功率密度恒定條件下,有限元模擬的激光器熱阻隨長(zhǎng)度的變化。7 x; m# k" y3 E. c  u: |
0 ^$ q8 P8 _, ^* o0 q( ?
如果保持總耗散熱量恒定,增加激光器長(zhǎng)度會(huì)由于功率密度降低而減小熱阻(K/W)。然而,如果我們保持功率密度恒定(W/mm),以K-mm/W為單位的熱阻則保持相對(duì)恒定。6 n+ c$ n. r! h7 d. H& r
) S/ c. F" l% \1 X; X
3. 頂部冷卻$ T: p$ a9 S: I7 `
在激光器頂部添加散熱器可以顯著改善熱性能,特別是對(duì)于較大的激光器。& v3 p9 d1 l0 ]) p

* ^- P9 n$ B1 T1 ^4 M
& X8 X/ W2 b4 P# c圖7:說(shuō)明了頂部散熱器對(duì)激光器熱阻的影響,作為散熱器阻力和熱界面材料(TIM)阻力的函數(shù)。
$ ^  {" w: e4 ]" |! @4 Q8 [  t6 b2 _
7 u& Y/ e! w1 a結(jié)果顯示,頂部冷卻對(duì)多增益段激光器的影響更為顯著。對(duì)于16增益段激光器,一個(gè)現(xiàn)實(shí)的TIM(RTIM = 50 mm2-K/W)和散熱器(Rhs = 1 K/W)可以將熱阻降低高達(dá)45%。
% k- y+ z& \- f" h/ v# |$ d3 M* d% N8 |" n, V
案例研究:8 x 8 WDM光源
! Y3 c  P: f7 T5 N為展示熱擴(kuò)展性分析的實(shí)際應(yīng)用,讓我們考慮用于光收發(fā)器的8 x 8 WDM光源案例研究。. W9 a( O. x) m# o7 K

5 S5 g7 K$ w. S/ d% c
% @. Q* W1 h2 v' d7 j- @9 Q3 U圖8:顯示了WDM光源的示意圖,指出了波長(zhǎng)通道數(shù)和物理端口數(shù)。
* ~: Y3 v+ Y( r" {( Y, ^  \" \, L7 N# u' K  _) }5 O
該案例研究的規(guī)格包括:
+ e# P# `7 O0 J9 w& d" p8 m
  • 8個(gè)WDM通道(200 GHz網(wǎng)格)
  • 8個(gè)端口
  • 每個(gè)單元5.8 dBm波導(dǎo)耦合光功率
  • 2 dB邊緣耦合器損耗3 E. `; g4 k. _

    4 g: P: F: p7 C2 ~, `& a! @8 X/ T8 N使用熱光模型,可以分析各種配置以優(yōu)化功耗和占用面積。7 F, t/ E0 O' j3 ^: T5 H. j, @
    ' C7 W% n9 f. P
      w7 i- F- f- i
    圖9(a):顯示了8 x 8激光器陣列在500 μm和100 μm間距下的模擬熱阻。圖15(b)是25°C下集成激光器所有模擬設(shè)計(jì)的散點(diǎn)圖。
    7 L  R/ J$ v, w, M7 X9 S
    ) P2 A/ t1 j) Z, L5 k4 O( E$ C7 R
    5 q; t6 w6 G1 e% e7 ]- Y圖10:顯示了在各種條件下激光器陣列的模擬總電功耗,包括不同環(huán)境溫度、集成vs外部激光器以及每個(gè)激光器的增益段數(shù)。9 o3 ~+ d$ g; G5 Y* {

    . ~: l/ T  v( M& L該案例研究的主要發(fā)現(xiàn)包括:
  • 由于額外的光纖插入損耗,外部激光器的功耗是集成激光器的2-4倍。
  • 增加激光器長(zhǎng)度通常會(huì)增加功耗,但允許更高的光功率供應(yīng)多個(gè)端口每增益段,可能減少激光器芯片總數(shù)。
  • 最小功耗的最佳配置在很大程度上取決于環(huán)境溫度和其他因素。
  • 在較高的環(huán)境溫度下,許多設(shè)計(jì)由于無(wú)法達(dá)到所需的光功率規(guī)格而變得不可行。
  • 激光器陣列的能量效率和占用面積之間存在明顯的權(quán)衡。1 R1 s1 O* r! V% ^. o6 U
    [/ol]7 E! H; h0 j- d0 q
    , ^6 N9 ^& H' n8 K" F' ]
    結(jié)論" Y" ~/ A8 f# s* t+ \2 I& z
    熱管理對(duì)于開(kāi)發(fā)用于光收發(fā)器的大規(guī)模、多波長(zhǎng)激光器陣列極為重要。本文提出了全面的方法來(lái)分析混合InP-on-Si激光器的熱擴(kuò)展性,包括實(shí)驗(yàn)表征、詳細(xì)的熱學(xué)和光學(xué)建模,以及在實(shí)際場(chǎng)景中的應(yīng)用。( f9 ~5 D7 z  v' ]! Z
    9 f0 p) Z" }9 q, R) N) a0 a
    本分析的主要結(jié)論包括:
    ' v5 {0 g2 P+ K4 Y+ k1. 激光器熱阻與長(zhǎng)度成反比,但由于熱串?dāng)_而隨寬度增加而增加。! u# r0 L! Z: U$ V  P3 ~
    2. 頂部冷卻可以顯著改善熱性能,特別是對(duì)于具有多個(gè)增益段的較大激光器。5 _. x( ~0 c, \9 C2 Y3 E+ l- w
    3. 優(yōu)化激光器陣列設(shè)計(jì)需要仔細(xì)考慮多個(gè)因素,包括環(huán)境溫度、集成方法(外部vs集成)以及功耗和占用面積之間所需的平衡。0 k7 ]4 Q' k6 w# s

    - {" J/ ]0 Y0 _) p$ j/ I6 k/ j通過(guò)應(yīng)用這些熱擴(kuò)展性原理并使用所提出的建模框架,設(shè)計(jì)人員可以為下一代數(shù)據(jù)中心應(yīng)用創(chuàng)建更高效、更可靠的光收發(fā)器。隨著繼續(xù)推動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸速率和集成密度的邊界,這種熱感知設(shè)計(jì)方法對(duì)于光電共封裝的成功將變得越來(lái)越重要。+ s1 o8 s! A( R' h' Q$ {/ N

    ; {. S' D. L9 Y

    2 i/ o2 @- t7 O  |8 W$ ~5 U參考文獻(xiàn)/ Z8 D% C7 ~: N$ i# [+ L
    [1] D. Coenen et al., "Thermal Scaling Analysis of Large Hybrid Laser Arrays for Co-Packaged Optics," IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2024.0 n+ s/ W% c8 E) m4 C5 H  a, P4 z3 J0 r

    ) T; \, X; n6 i( r" B( k$ b- END -" a* J" f* M9 X  A# s% l4 Z

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    / H: }8 a/ \5 u: w! p# M$ @關(guān)于我們:
    / Y) R# i! V1 C' A  O6 W4 _: X深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開(kāi)發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對(duì)光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國(guó)內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。
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